Эта публикация цитируется в
2 статьях
Физика низкоразмерных структур
Формирование силицидов в двухслойных сверхтонких пленках железа и кобальта на кремнии
М. В. Гомоюноваa,
Г. С. Гребенюкa,
И. И. Пронинab a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, 195251 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Исследованы процессы, протекающие в сверхтонких (до 1 nm) слоях Fe и Co при их нанесении на поверхность Si(100)2
$\times$ 1 в разной последовательности, а также при отжиге сформированных структур до температуры
$\sim$ 400
$^\circ$С. Анализ элементного и химического составов пленок проводился
in situ методом фотоэлектронной спектроскопии высокого энергетического разрешения с использованием синхротронного излучения, а их магнитные свойства исследовались с помощью эффекта магнитного линейного дихроизма в угловом распределении Co
$3p$- и Fe
$3p$-электронов. Показано, что в случае первоначального напыления железа формируется структура, состоящая из слоев FeSi, Fe
$_3$Si, твердого раствора Co–Si и металлического кобальта с сегрегированным кремнием. В альтернативном случае образуется структура, включающая в себя слои CoSi, твердого раствора Co–Si, Со, раствора Fe–Si и пленки Fe, частично покрытой кремнием. Все указанные слои (кроме FeSi и CoSi) образуют единые магнитные системы, характеризуемые ферромагнитным упорядочением. Отжиг образцов при температурах выше 130
$^\circ$С (для системы Co/Fe/Si) и
$\sim$ 200
$^\circ$С (для Fe/Co/Si) приводит к формированию немагнитных бинарных и тройных силицидов (Fe
$_x$Co
$_{1-x}$Si и Fe
$_x$Co
$_{2-x}$Si).
Поступила в редакцию: 05.02.2014
Полный текст:
PDF файл (273 kB)
