RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2014, том 84, выпуск 10, страницы 68–72 (Mi jtf8224)

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Физика низкоразмерных структур

Рост и особенности формирования микроструктуры пленок YBCO, получаемых методом магнетронного напыления на подложках из фианита

С. В. Гапонов, С. А. Гусев, Ю. Н. Дроздов, Д. В. Мастеров, С. А. Павлов, А. Е. Парафин, Е. В. Скороходов, П. А. Юнин

Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Исследована зависимость электрофизических и структурных свойств пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$, получаемых методом магнетронного напыления на фианите, от температуры роста. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа показано, что на фианитовых подложках без дополнительного буферного слоя происходит послойно-островковый рост пленки YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$. Повышение температуры осаждения приводит к разделению растущей пленки на области с сильно различающейся микроструктурой. Области первого типа представляют собой высококачественный слой YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$, области второго типа – слой YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ с резко выраженными межгранульными границами, препятствующими протеканию тока.

Поступила в редакцию: 06.12.2013


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2014, 59:10, 1487–1491

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026