Аннотация:
Исследована зависимость электрофизических и структурных свойств пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$, получаемых методом магнетронного напыления на фианите, от температуры роста. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа показано, что на фианитовых подложках без дополнительного буферного слоя происходит послойно-островковый рост пленки YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$. Повышение температуры осаждения приводит к разделению растущей пленки на области с сильно различающейся микроструктурой. Области первого типа представляют собой высококачественный слой YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$, области второго типа – слой YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ с резко выраженными межгранульными границами, препятствующими протеканию тока.