Эта публикация цитируется в 1 статье

Плазма

Скорость травления кремния локализованным газовым разрядом

А. В. Абрамов, Е. А. Панкратова, И. С. Суровцев

Воронежский государственный архитектурно-строительный университет, 394006 Воронеж, Россия

Аннотация: Представлены результаты исследований влияния на скорость травления кремния различных технологических, конструктивных и электрофизических параметров, характеризующих условия горения и свойства локализованного газового разряда. Эксперименты проводились при давлении газа 10$^4$–10$^5$ Pa и длине разрядного промежутка 50–500 $\mu$m. Показана эффективность применения метода эмиссионной спектроскопии для контроля момента начала и завершения травления слоев различных материалов локализованным газовым разрядом.

Поступила в редакцию: 19.12.2013

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2014, 59:10, 1452–1456

Реферативные базы данных:

•