Эта публикация цитируется в 4 статьях

Плазма

Совместное функционирование магнетронной распылительной системы и ионного источника на основе торцевого холловского ускорителя

Д. А. Голосов^a, B. Eungsun^b, С. М. Завадский<sup>a

a</sup> Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, 220013 Минск, Беларуссия
^b Korea Institute of Materials Science, Plasma Coating Technology Department, 642-831, Republic of Korea, Changwon, 797 Changwon-Daero, Sungsan-Gu

Аннотация: Проведены исследования особенностей совместной работы магнетронной распылительной системы (МРС) с ионным источником на основе торцевого холловского ускорителя (ТХУ). Отмечено, что при включении разряда магнетрона происходит частичная или полная нейтрализация ионного пучка, генерируемого ТХУ, т. е. при определенных режимах МРС ионный источник функционирует в безнакальном режиме. В данном случае разряд магнетрона является источником электронов, необходимых для поддержания разряда и компенсации ионного пучка ТХУ. Установлены зависимости разрядных характеристик ТХУ и МРС при использовании для компенсации ионного пучка ТХУ накального нейтрализатора и разряда МРС. На основе анализа совместной работы МРС и ТХУ рассмотрен баланс токов системы ионный источник–магнетронная распылительная система. Показано, что максимальный ток разряда ионного источника, при котором сохраняется условие скомпенсированности разряда, зависит от несбалансированности и тока разряда магнетрона.

Поступила в редакцию: 28.11.2013

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2014, 59:9, 1326–1333

Реферативные базы данных:

•