RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Журнал технической физики
// Архив
ЖТФ,
2014
, том 84,
выпуск 9,
страницы
60–65
(Mi jtf8192)
Эта публикация цитируется в
6
статьях
Плазма
Субпроцессы при азотировании в тлеющем разряде
И. М. Пастух
Хмельницкий национальный университет, 28016 Хмельницкий, Украина
Аннотация:
Проведен анализ азотирования в тлеющем разряде на уровне его составляющих, предложена принципиально новая в сравнении с классическими схема процесса с учетом наиболее весомых субпроцессов.
Поступила в редакцию:
03.10.2013
Полный текст:
PDF файл (202 kB)
Список цитирования
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2014,
59
:9,
1320–1325
Реферативные базы данных:
©
МИАН
, 2026