RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2014, том 84, выпуск 9, страницы 60–65 (Mi jtf8192)

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Плазма

Субпроцессы при азотировании в тлеющем разряде

И. М. Пастух

Хмельницкий национальный университет, 28016 Хмельницкий, Украина

Аннотация: Проведен анализ азотирования в тлеющем разряде на уровне его составляющих, предложена принципиально новая в сравнении с классическими схема процесса с учетом наиболее весомых субпроцессов.

Поступила в редакцию: 03.10.2013


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2014, 59:9, 1320–1325

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026