Аннотация:
Представлено описание конструкции и принципа работы нового источника ионов металлов распылительного типа. Построение источника основывается на формировании плазменного эмиттера, содержащего ионы металла, с использованием двухступенчатого тлеющего разряда с двойным сжатием плазмы. Необходимый температурный режим электродов разрядной камеры достигается за счет распределения мощности разряда без использования нагревателей. Проведена оптимизация разрядной камеры. Представлены первые результаты экспериментального исследования масс-зарядового состава пучка, генерируемого этим источником.
Поступила в редакцию: 07.03.2013 Принята в печать: 19.08.2013