Аннотация:
Рассмотрены особенности реализации методов раздельного контроля качества отдельных компонент тонких композитных дифракционных элементов, имеющих одномерную периодическую структуру. Предложены и проанализированы различные оптические схемы визуализации дефектов отдельных компонент. На примере композитного дифракционного элемента, представляющего собой набор оптических компонент, в виде тонкой прозрачной пластины с поверхностями, имеющими определенную кривизну, и одномерной периодической микроструктурой, показана возможность раздельной визуализации дефектов подложки и периодической структуры. Представлены интерференционные картины качества тонкой подложки и периодической структуры композитного элемента, представляющего собой амплитудную решетку, записанную в тонком светочувствительном слое, расположенном между двумя стеклянными подложками.