Е. А. Богданов, А. А. Кудрявцев, З. Н. Очикова, А. С. Чирцов, “Нарушение распределения Больцмана для плотности электронов плазмы в двухкамерных ICP-разрядах”, ЖТФ, 2015, том 85, выпуск 10,страницы 155

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Краткие сообщения

Нарушение распределения Больцмана для плотности электронов плазмы в двухкамерных ICP-разрядах

Е. А. Богданов^a, А. А. Кудрявцев^a, З. Н. Очикова^a, А. С. Чирцов^b

^a Санкт-Петербургский государственный университет, 198504 Санкт-Петербург, Россия
^b Санкт-Петербургский университет ИТМО, 197101 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: На примере ICP-разрядов установлено, что в двухкамерных конструкциях, в которых возможен сильный градиент температуры электронов, классическое распределение Больцмана для концентрации электронов не имеет места даже на качественном уровне, в то время как более общее распределение для плотности энергии электронов (extended Boltzmann distribution) выполняется с удовлетворительной точностью.

Поступила в редакцию: 02.03.2015