И. М. Алиев, С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев, А. В. Павленко, “Метод контроля оптических характеристик тонких прозрачных пленок с использованием угловой оптической рефлектометрии”, ЖТФ, 2015, том 85, выпуск 10,страницы 145

Эта публикация цитируется в 1 статье

Краткие сообщения

Метод контроля оптических характеристик тонких прозрачных пленок с использованием угловой оптической рефлектометрии

И. М. Алиев^a, С. П. Зинченко^b, А. П. Ковтун^b, Г. Н. Толмачев^b, А. В. Павленко^ab

^a Научно-исследовательский институт физики Южного федерального университета, 344090 Ростов-на-Дону, Россия
^b Южный научный центр РАН, 344006 Ростов-на-Дону, Россия

Аннотация: Предложен способ определения толщины и показателя преломления материала пленок на оптически однородной подложке, основанный на исследовании угловой зависимости интенсивности отраженного от пленки зондирующего излучения $H$-поляризации. Анализ показал, что в семействе кривых отражения для прозрачных пленок различной толщины, но с одинаковым показателем преломления существует угол, при котором они пересекаются в одной точке (вырождаются) и тангенс этого угла равен коэффициенту преломления материала пленки. Возможность применения данного метода демонстрируется на примере исследования серии пленок BSN/MgO(001).

Поступила в редакцию: 28.11.2014
Принята в печать: 05.03.2015