С. Ю. Купреенко, Н. А. Орликовский, Э. И. Рау, А. М. Тагаченков, А. А. Татаринцев, “Определение толщин ультратонких поверхностных пленок в наноструктурах по энергетическим спектрам отраженных электронов”, ЖТФ, 2015, том 85, выпуск 10,страницы 101

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Физика низкоразмерных структур

Определение толщин ультратонких поверхностных пленок в наноструктурах по энергетическим спектрам отраженных электронов

С. Ю. Купреенко^a, Н. А. Орликовский^b, Э. И. Рау^a, А. М. Тагаченков^c, А. А. Татаринцев^b

^a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия
^b Физико-технологический институт РАН, 117218 Москва, Россия
^c Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва, Россия

Аннотация: Рассмотрен новый метод определения толщин оптически непрозрачных пленок на массивных подложках в нанометровом диапазоне размеров. Метод базируется на анализе и измерении энергетических спектров обратно-рассеянных электронов. Толщины локальных пленочных наноструктур определяются по амплитудным значениям спектров и по их сдвигу на энергетической оси.

Поступила в редакцию: 19.02.2015