Эта публикация цитируется в 1 статье

Физическая электроника

Роль эффекта перераспределения электрического поля в изменении характеристик открытых “сандвич”-структур металл–диэлектрик–металл под воздействием влаги

В. М. Мордвинцев, В. Л. Левин, С. Е. Кудрявцев, Л. А. Цветкова

Ярославский филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института РАН, 150007 Ярославль, Россия

Аннотация: Приведены результаты численного моделирования эффекта перераспределения электрического поля в изолирующей щели открытой “сандвич”-структуры металл–диэлектрик–металл TiN–SiO$_2$–W при образовании на свободном торце диэлектрической пленки слоя с повышенной диэлектрической проницаемостью из-за поглощения влаги пористым диоксидом кремния, полученным плазмохимическим осаждением. Показано, что эффектом перераспределения электрического поля можно объяснить все наблюдающиеся экспериментально изменения электрических характеристик, вызванные воздействием влаги.

Поступила в редакцию: 20.11.2014

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2015, 60:9, 1376–1383

Реферативные базы данных:

•