Аннотация:
Обсуждены особенности изменения состава и оптических характеристик пористого кремния с различным размером пор с течением времени. Для создания нано-, мезо- и макропористого кремния, а также многослойных пористых структур варьировались ориентация подложки, тип проводимости и состав раствора травления. Показано сохранение корреляции между интенсивностью фотолюминесценции (ФЛ) образцов после длительного хранения на атмосфере и интенсивностью полосы поглощения их ИК-спектров (полоса 616 cm$^{-1}$), обусловленной наличием связей Si–Si. Установлено, что самой высокой ФЛ через 120 day хранения обладает образец нанопористого кремния.