Эта публикация цитируется в 15 статьях

Электрофизика

Факторы, определяющие эффективность магнетронного распыления. Критерии оптимизации

А. В. Рогов^a, Ю. В. Капустин^a, Ю. В. Мартыненко<sup>ab

a</sup> Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", 123182 Москва, Россия
^b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 115409 Москва, Россия

Аннотация: Приведены результаты экспериментальных исследований зависимости коэффициента энергетической эффективности распыления $K_w$ в планарном магнетронном распылительном устройстве на постоянном токе от мощности разряда, давления рабочего газа, величины магнитного поля, глубины эрозии катода, конструкции системы напуска газа и анода. Предложено использовать данный параметр для сравнения степени совершенства конструкции магнетронов вне зависимости от их размеров и конструктивных особенностей. Приведены результаты измерения $K_w$ при распылении Al, Ti, Cr, Cu, Zn, Zr, Nb, Mo, Ag, In, Sn, Ta, W, Pt и Au. Разработан критерий оптимизации магнитной системы магнетрона, обеспечивающий минимальное рабочее давление и максимальную скорость распыления катода. Проведен теоретический анализ полученных данных.

Поступила в редакцию: 27.06.2014

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2015, 60:2, 283–291

Реферативные базы данных:

•