Эта публикация цитируется в 17 статьях

Физика низкоразмерных структур

Термоокислительная деструкция пленок молибдена при лазерной абляции

А. В. Волков^ab, Н. Л. Казанский^ab, О. Ю. Моисеев^a, С. Д. Полетаев<sup>ab

a</sup> Институт систем обработки изображений РАН, 443001 Самара, Россия
^b Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С. П. Королёва, 443086 Самара, Россия

Аннотация: Обсуждены проблемы лазерной абляции пленок молибдена, имеющие место при формировании топологического рисунка контактных масок. Описан механизм термоокислительной деструкции тонких пленок молибдена при воздействии лазерного излучения с повышенной плотностью мощности. Представлены результаты теоретических выкладок в сопоставлении с практическими данными о химическом составе оксида молибдена, полученными методом комбинационного рассеяния.

Поступила в редакцию: 30.04.2014

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2015, 60:2, 265–269

Реферативные базы данных:

•