RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2025, том 95, выпуск 8, страницы 1598–1609 (Mi jtf7646)

Физическая электроника

Влияние ионного и кислотного травления на структурные и магниторезонансные характеристики эпитаксиальных пленок феррит-гранатов

А. А. Сыров, С. В. Томилин, Е. Ю. Семук, С. В. Османов

Крымский федеральный университет имени В. И. Вернадского, 295007 Симферополь, Россия

Аннотация: Представлены экспериментальные результаты исследования влияния постростовой обработки тонких монокристаллических пленок катион-замещенных феррит-гранатов на их структурные и магнитные характеристики. Показано, что кислотное травление поверхности монокристаллических гранатов, как правило, уступает в качестве обработки поверхности методу ионно-плазменного травления. При исследовании морфологии поверхностного слоя и спектров ферромагнитного резонанса в эпитаксиальной пленке феррит-граната показало, что использование в качестве травителя ортофосфорной кислоты привело к уменьшению шероховатости поверхности, однако не обеспечило качественного сохранения магнитных характеристик по сравнению с ионно-плазменным методом обработки, который не ухудшил структуру и не разрушил кристаллическую решетку феррит-гранатов.

Ключевые слова: ионное травление, кислотное травление, феррит-гранат, ферромагнитный резонанс, профиль края, маскирование.

Поступила в редакцию: 29.10.2024
Исправленный вариант: 20.03.2025
Принята в печать: 03.04.2025

DOI: 10.61011/JTF.2025.08.60907.374-24



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026