RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2025, том 95, выпуск 7, страницы 1297–1302 (Mi jtf7611)

Плазма

Демпфированный вакуумный разряд как вариант источника ЭУФ излучения для литографии

Л. В. Степановab, П. С. Анциферовab, Н. Д. Матюхинac

a Институт спектроскопии РАН, 108840 Троицк, Москва, Россия
b Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", 109028 Москва, Россия
c Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), 141701 Долгопрудный, Московская обл., Россия

Аннотация: Описана установка для получения демпфированного вакуумного разряда с пиковым током 18 kA и длительностью меньше 1 $\mu$s. В таком разряде реализуется ранее обнаруженное явление возникновения многозарядных ионов в вакуумном разряде в условиях отсутствия пинчевания на стадии формирования разрядного столба плазмы. Основная идея заключается в быстром прекращении разрядного тока после этой стадии, что может позволить реализовать разрядный источник излучения с низким уровнем эрозии электродов. Управление током разряда осуществляется с помощью демпфирования разрядного контура путем включения в его цепь балластного сопротивления. Тестовые измерения показали возникновение многозарядных ионов железа (до Fe VIII) на временах 100–200 ns от начала разряда. Была изучена зависимость динамики развития разряда и интенсивности его излучения в диапазоне экстремального ультрафиолета от расстояния между электродами. Продемонстрировано возникновение излучения с длиной волны 13.5 nm при использовании в разряде анода из олова.

Ключевые слова: электрические разряды, экстремально ультрафиолетовoе излучение, экстремально ультрафиолетовые спектры, многозарядные ионы.

Поступила в редакцию: 17.12.2024
Исправленный вариант: 21.02.2025
Принята в печать: 27.02.2025

DOI: 10.61011/JTF.2025.07.60651.463-24



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026