Эта публикация цитируется в 3 статьях

Обзоры

Cекционные методы рентгеновской дифракционной топографии (обзор)

И. Л. Шульпина^a, Э. В. Суворов^b, И. А. Смирнова^b, Т. С. Аргунова<sup>a

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b Институт физики твердого тела имени Ю.А. Осипьяна Российской академии наук, 142432 Черноголовка, Московская обл., Россия

Аннотация: Рентгеновская топография представляет собой группу методов, предназначенных для получения дифракционных изображений структурных дефектов в кристаллах. Среди них выделяют секционные методы, позволяющие получать количественную информацию о дефектах на основе анализа их изображений. С этой целью разрабатываются специальные приложения динамической теории дифракции рентгеновских лучей. Секционные методы основаны на интерференции волновых полей, возбуждаемых в кристалле рентгеновским пучком. Их чувствительность к слабым нарушениям кристаллической решетки намного выше, чем у других рентгеновских методов. Описаны физические основы и условия реализации секционных методов, а также методы и результаты моделирования волнового поля в кристалле. Показаны примеры решения прикладных задач материаловедения и микроэлектроники. Кратко изложено применение секционных методов с использованием синхротронного излучения.

Ключевые слова: рентгеновская топография, монокристаллы, дефекты в кристаллах, кремний, алмаз, антимонид индия.

Поступила в редакцию: 18.03.2022
Исправленный вариант: 07.06.2022
Принята в печать: 10.06.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.10.53240.23-22

Реферативные базы данных:

•