Аннотация:
Проведено исследование степени сферичности реальной формы круглых тонкопленочных мембран при ее изменении в процессе реализации метода выдувания. Изучены сформированные Bosch-процессом круглые тонкопленочные мембраны со структурой SiN$_x$/SiО$_2$/SiN$_x$/SiО$_2$, pSi$^*$/SiN$_x$/SiO$_2$, Al и др. Описана методика, позволяющая определить области отклонения формы поверхности мембраны от сферической, оценить величину и характер распределения радиуса кривизны вдоль диаметра мембраны. Показано, что форма мембран отличается от сферической ближе к области закрепления, а также во многих случаях и к области вершины (центра) мембраны. Также обнаружена тенденция к увеличению радиуса кривизны по мере приближения к центру мембраны.
Полный текст:
PDF файл (824 kB)