XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Физическая электроника

Перспективы применения реактивного ионно-пучкового травления плавленого кварца смесью тетрафторметана и аргона для асферизации поверхности оптических элементов

М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, А. А. Перекалов, М. В. Зорина, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Предложено использовать энергию разряда для синтеза химически-активных частиц с целью проведения коррекции формы и асферизации поверхности оптических элементов реактивным ионно-пучковым травлением. Собран стенд на основе радиочастотного источника ускоренных ионов КЛАН-105М, конструкция которого позволила работать с химически активными газами. Показана возможность увеличения скорости травления плавленого кварца более чем в 5 раз по сравнению с ионным травлением инертными газами путем создания смеси тетрафторметана (CF$_4$) и аргона (Ar) в соотношении 1:1, при сохранении исходно гладкой шероховатости поверхности ($\sigma_{\mathrm{eff}}\sim$ 0.3 nm) в диапазоне пространственных частот $\nu\in$ [5.0$\cdot$10$^{-2}$ – 6.4$\cdot$10$^1$ $\mu$m$^{-1}$].

Ключевые слова: ионное травление, реактивное ионное травления, шероховатость, поверхность, рентгеновская оптика.

Поступила в редакцию: 26.04.2022
Исправленный вариант: 26.04.2022
Принята в печать: 26.04.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52792.111-22

Реферативные базы данных:

•