XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Физическая электроника

Алмаз-карбид-кремниевый композит “скелетон” как перспективный материал для подложек рентгенооптических элементов

М. В. Зорина^a, М. С. Михайленко^a, А. Е. Пестов^a, М. Н. Торопов^a, А. К. Чернышев^a, Н. И. Чхало^a, С. К. Гордеев^b, В. В. Виткин<sup>c

a</sup> Институт физики микроструктур РАН, 603087 Нижний Новгород, Россия
^b ЦНИИ материалов, 191014 Санкт-Петербург, Россия
^c Университет ИТМО, 197101 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Предложено применение алмаз-карбид-кремниевого композита “Скелетон” $\circledR$ с покрытием из аморфного кремния в качестве подложек многослойных рентгеновских зеркал для мощных источников синхротронного излучения (3+ и 4-го поколения). Стандартными методами глубокой шлифовки-полировки на образцах получены поверхности со следующими параметрами: плоскостность на уровне RMS$_{90\%}$ = 54.2 nm; эффективная шероховатость $\sigma_{\mathrm{eff}}$ $\sim$1.0 nm; высокочастотная шероховатость $\sigma_{2\times2}$ $\sim$ 0.1 nm.

Ключевые слова: рентгеновская оптика, рентгеновские зеркала, подложки для рентгеновских зеркал, шероховатость.

Поступила в редакцию: 06.04.2022
Исправленный вариант: 06.04.2022
Принята в печать: 06.04.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52790.85-22

Реферативные базы данных:

•