XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Физическая электроника

Модель физического распыления аморфных материалов

А. Е. Пестов, М. С. Михайленко, А. К. Чернышев, М. В. Зорина, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Продемонстрирован импульсный механизм физического распыления с учетом эволюции поверхности. Модель основана на импульсной передаче энергии в каскадах столкновений. Главной особенностью является учет шероховатости поверхности. Результаты численного моделирования качественно совпадают с наблюдаемыми в экспериментах. Показано, что угловые зависимости, посчитанные в рамках данной модели, имеют более близкие значения коэффициента распыления к экспериментальным нежели посчитанные с помощью пакета для моделирования в области облучения веществ различными ионами TRIM (Transport of ions in matter).

Ключевые слова: ионное травление, численное моделирование, шероховатость, Монте-Карло.

Поступила в редакцию: 06.04.2022
Исправленный вариант: 06.04.2022
Принята в печать: 06.04.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52789.84-22

Реферативные базы данных:

•