Эта публикация цитируется в 1 статье

XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Физическая электроника

Изучение влияния энергии ионов аргона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния

М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, М. В. Зорина, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко

Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Приведены результаты изучения энергетических зависимостей коэффициента распыления и значения эффективной шероховатости поверхности монокристаллического кремния при облучении ионами аргона с энергией 200–1000 eV. В результате работы были определены параметры ионно-пучкового травления ускоренными ионами Ar, обеспечивающие высокий коэффициент распыления (скорость травления) и значение эффективной шероховатости в диапазоне пространственных частот 4.9$\cdot$10$^{-2}$–6.3$\cdot$10$^1$ $\mu$m$^{-1}$ менее 0.3 nm для основных срезов монокристаллического кремния $\langle$100$\rangle$, $\langle$110$\rangle$ и $\langle$111$\rangle$.

Ключевые слова: ионное травление, монокристаллический кремний, шероховатость поверхности, малоразмерный ионный пучок, коэффициент распыления.

Поступила в редакцию: 06.04.2022
Исправленный вариант: 06.04.2022
Принята в печать: 06.04.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52787.70-22

Реферативные базы данных:

•