XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Электрофизика

Оптимизация параметров компактного источника мягкого рентгеновского излучения для работы в диапазоне длин волн 2–5 nm

А. А. Самохвалов^ab, К. А. Сергушичев^b, С. И. Елисеев^bc, Т. П. Бронзов^b, Е. П. Большаков^b, Д. В. Гетман^b, А. А. Смирнов<sup>b

a</sup> Университет ИТМО, 197101 Санкт-Петербург, Россия
^b Лаборатория им. В.А. Бурцева, 197022 Санкт-Петербург, Россия
^c Санкт-Петербургский государственный университет, 199034 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Представлен компактный источник мягкого рентгеновского излучения для работы в диапазоне длин волн 2–5 nm с частотой следования импульсов более 500 Hz. Проведена оптимизация параметров источника для уменьшения интенсивности абляции стенки разрядного объема и получения максимальной интенсивности спектральных линий многозарядных ионов C V – 4 nm и Ar IX – 4.87 nm. Полученные результаты могут быть использованы при разработке микроскопа для задач клеточной микроскопии на просвет с нанометровым разрешением.

Ключевые слова: наносекундный капиллярный разряд, плазма, мягкое рентгеновское излучение, многозарядные ионы.

Поступила в редакцию: 04.04.2022
Исправленный вариант: 04.04.2022
Принята в печать: 04.04.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52786.73-22

Реферативные базы данных:

•