XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Фотоника

Тонкопленочные Al-мишени для лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения

С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, 603087 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: При помощи зеркального спектрометра экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) диапазона исследованы спектры излучения массивного алюминия в интервале длин волн 8.0–18.0 nm при лазерном возбуждении. Проведено тестирование тонкопленочных лазерных мишеней из алюминия и сравнительные измерения интенсивности ЭУФ излучения пленки толщиной 100 nm и мишени из массивного материала.

Ключевые слова: МР, экстремальное ультрафиолетовое излучение, тонкие пленки, лазерная плазма.

Поступила в редакцию: 04.04.2022
Исправленный вариант: 04.04.2022
Принята в печать: 04.04.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52783.75-22

Реферативные базы данных:

•