XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Физика низкоразмерных структур

Многослойные зеркала Ru/Sr для спектрального диапазона 9–12 nm

Р. А. Шапошников, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Приведены результаты исследований Ru/Sr-многослойных зеркал, оптимизированных на рабочий диапазон длин волн 9–12 nm. В рамках представленной работы впервые были получены многослойные структуры на основе стронция, обладающие стабильными во времени отражательными характеристиками. Показано, что зеркала Ru/Sr в спектральном диапазоне 9–12 nm имеют наибольшее значение коэффициентов отражения из всех известных отражающих покрытий, за исключением бериллий-содержащих.

Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, рентгеновская литография, рентгеновское излучение.

Поступила в редакцию: 06.05.2022
Исправленный вариант: 06.05.2022
Принята в печать: 06.05.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52780.124-22

Реферативные базы данных:

•