Эта публикация цитируется в 1 статье

XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Твердое тело

Поиск прочных многослойных композиций свободновисящих фильтров с высоким коэффициентом пропускания в диапазоне длин волн “водного окна” (2.3–4.4 nm)

М. М. Барышева, С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, 603950 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Рассмотрены варианты состава многослойных абсорбционных фильтров с высоким коэффициентом пропускания в спектральной области "водного окна" (2.3–4.4 nm). Методом создания перепада давления между сторонами свободновисящих пленок на разрыв проведено сравнение по прочности фильтров с толщинами около 100 nm на основе Ti с прослойками из Al, Be, C и на основе V с прослойками из Al. В качестве материала для прослоек рассматривались также Sc и Cr. Среди протестированных многослойных периодических структур наилучшие прочностные характеристики продемонстрировали Ti/Be (при доле Ti в периоде около 0.6) и V/Al (при доле V в периоде около 0.4) фильтры. Несмотря на то что по прочности Ti/Be- и V/Al-фильтры уступают фильтрам из однослойных пленок Ti и V, эти многослойные фильтры могут представлять интерес, так как обладают либо большим коэффициентом пропускания в “окне прозрачности воды” (Ti/Be), либо существенно более высоким уровнем блокировки видимого излучения (V/Al).

Ключевые слова: многослойные свободновисящие фильтры, спектральная область “водного окна”, прочность на разрыв многослойных пленочных фильтров, коэффициент пропускания в мягком рентгеновском диапазоне, уровень блокировки видимого излучения.

Поступила в редакцию: 11.05.2022
Исправленный вариант: 11.05.2022
Принята в печать: 11.05.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52773.126-22

Реферативные базы данных:

•