RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2022, том 92, выпуск 8, страницы 1124–1129 (Mi jtf7405)

XXVI Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 14-17 марта 2022 г.
Твердое тело

Новая методика термопластического изгиба стекла для изготовления цилиндрических поверхностей зеркал жесткого рентгеновского диапазона

А. А. Ахсахалян, А. Д. Ахсахалян

Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Представлена новая методика термопластического изгиба стекла, позволяющая изготавливать цилиндрические поверхности с направляющей в форме параболы, эллипса и т. д., для зеркал жесткого рентгеновского диапазона длин волн ($\lambda\sim$ 0.1 nm). По этой методике изготовлено три образца поверхности эллиптического цилиндра. Время изготовления каждого образца составило два дня. Отклонение направляющей и ее локального угла от расчетных значений для всех образцов не превышает $\Delta y$ = 0.5 $\mu$m и $\Delta\alpha$ = 7 $\cdot$ 10$^{-5}$ rad соответственно. Показано, что при травлении таких поверхностей в течение 2 h их точность можно улучшить более чем на два порядка ($\Delta y$ = 2 nm, $\Delta\alpha$ = 5 $\cdot$ 10$^{-7}$ rad).

Ключевые слова: фокусирующие рентгеновские зеркала, цилиндрические зеркала, многослойные структуры.

Поступила в редакцию: 11.05.2022
Исправленный вариант: 11.05.2022
Принята в печать: 11.05.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52772.125-22



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026