Аннотация:
Для ионов из ряда инертных газов, а также галлия проведено моделирование поглощенной в резисте энергии. Показано, что распределение плотности энергии может быть аппроксимировано произведением двух гауссовых функций. Одна из них описывает радиальное распределение энергии, вторая – зависимость по глубине. Ширины и центры этих гауссовых функций определяются энергетической длиной (также упоминаемой в литературе как “глубина проникновения” или “средняя длина траекторий”), массой ионов и средним атомным номером резиста. Полученное описание позволит делать оценки размеров области модификации резиста для любых ионов с энергией десятки килоэлектронвольт и может быть использовано для априорных оценок разрешения и производительности, а также выбора на основании этого энергии пучка и типа иона.
Полный текст:
PDF файл (704 kB)