Аннотация:
Представлены результаты экспериментальных и численных исследований электроразрядного KrF-лазера с удельной мощностью накачки 3.5 и 7 MW/cm$^3$, при этом получена генерация с удельной энергией импульса излучения $\sim$6 и 9.5 J/l при внутреннем КПД по энергии $\sim$4%. Показаны временные зависимости образования заряженных и возбужденных частиц в плотной эксимерной плазме с концентрацией электронов $\sim$10$^{16}$ cm$^{-3}$. Предложены условия эффективной работы лазера, что позволит обеспечить дальнейшее повышение удельной энергии излучения более чем в два раза с сохранением высокого внутреннего КПД лазера относительно вложенной в разряд энергии.
Ключевые слова:
KrF-лазер, мощность накачки, удельная энергия излучения, объемный разряд, КПД лазера.
Поступила в редакцию: 11.02.2022 Исправленный вариант: 16.03.2022 Принята в печать: 02.04.2022