Теоретическая и математическая физика

Зависимость коэффициента распыления от угла падения ионов на поверхность мишени

А. И. Толмачев^a, Л. Форлано<sup>b

a</sup> Российский новый университет, 105005 Москва, Россия
^b Университет Калабрии, 87036 Козенца, Италия

Аннотация: Исследована зависимость коэффициента распыления от угла падения ионов на поверхность твердого тела. Диапазон углов падения менялся от 0$^\circ$ (нормальное падение) до 90$^\circ$ (предельное скользящее падение). Компьютерное моделирование выполнялось с помощью программы PAOLA. Теоретический анализ основан на численном решении интегрального уравнения Чандрасекара. Полученные результаты сопоставлены с результатами других авторов.

Ключевые слова: распыление под действием ионной бомбардировки, наклонное падение, коэффициент распыления, компьютерное моделирование, теоретический анализ.

Поступила в редакцию: 04.01.2022
Исправленный вариант: 27.02.2022
Принята в печать: 27.02.2022

DOI: 10.21883/JTF.2022.05.52369.2-22

Реферативные базы данных:

•