Фотоника

Преобразование мод в гибридных волноводных структурах на основе ниобата лития для согласования со стандартным одномодовым оптическим волокном

М. В. Парфенов^ab, П. М. Агрузов^a, И. В. Ильичев^a, А. А. Усикова^a, А. В. Шамрай<sup>a

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 195251 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Предложена конфигурация гибридной волноводной структуры, обеспечивающей эффективное преобразование моды градиентного титан-диффузного оптического волновода, согласованного с одномодовым оптическим волокном, в моду гибридного гребенчатого волновода с малым размером модового пятна. Были рассмотрены два наиболее перспективных материала для формирования гибридных волноводов: кремний и диоксид титана. Теоретический анализ показал, что эффективность преобразования выше 99% достижима для структур на основе диоксида титана с технологическими допусками, соответствующими контактной фотолитографии.

Ключевые слова: интегральная оптика, волновод, ниобат лития, тейпер, кремний, диоксид титана.

Поступила в редакцию: 20.07.2021
Исправленный вариант: 04.10.2021
Принята в печать: 05.10.2021

DOI: 10.21883/JTF.2022.01.51860.220-21

Реферативные базы данных:

•