RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2025, том 95, выпуск 2, страницы 363–372 (Mi jtf7208)

Специальный выпуск по материалам Международной конференции "Наноуглерод и Алмаз" (НиА'2024)
Физическое материаловедение

Влияние условий синтеза на структуру и электронные свойства алмазоподобных углеродных пленок с наночастицами иридия

Ф. Бекмуратa, А. П. Рягузовa, Р. Р. Немкаеваa, А. Р. Асембаеваab, Н. Р. Гусейновa, Р. Ж. Ерсайынc

a Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский Национальный университет им. аль-Фараби, 050012 Алматы, Казахстан
b Казахский национальный технический университет им. К. И. Сатпаева, 050000 Алматы, Казахстан
c Институт топлива, катализа и электрохимии им. Д.В. Сокольского, 050010 Алматы, Казахстан

Аннотация: Исследована возможность управления соотношением $sp^2/sp^3$-гибридизированных связей алмазоподобных углеродных пленок, модифицированных наночастицами иридия. Алмазоподобные углеродные пленки получены методом магнетронного распыления комбинированной мишени. Методом электронной микроскопии изучены морфология поверхности и элементный состав алмазоподобных углеродных пленок. Исследования поверхности пленок на сканирующем электронном микроскопе показали, что иридий в углеродной матрице формируется в виде наночастиц. Методом комбинационного рассеяния света были проведены исследования локальной структуры аморфных алмазоподобных углеродных пленок в зависимости от условий синтеза и концентрации иридия. Показана зависимость положения $G$-, $D$-, $T$-пиков от условий синтеза и концентрации иридия. Рассчитано соотношение интенсивностей $I_D/I_G$ и показано изменение ширины на полувысоте $G$-пика в зависимости от концентрации иридия. Также показано изменение дисперсии $G$-пика от алмазоподобной до графитоподобной фазы с ростом концентрации иридия. Определена ширина запрещенной зоны алмазоподобных углеродных пленок с наночастицами иридия и показана зависимость ширины запрещенной зоны от режимов синтеза и концентрации иридия. Кроме этого, наблюдалась перколяционная проводимость алмазоподобных углеродных пленок с наночастицами иридия пленок при концентрации иридия 0.9 at.%.

Ключевые слова: магнетронное распыление, алмазоподобная углеродная пленка, наночастица, иридий, рамановская спектроскопия.

Поступила в редакцию: 28.10.2024
Исправленный вариант: 28.10.2024
Принята в печать: 28.10.2024

DOI: 10.61011/JTF.2025.02.59733.364-24



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026