Специальный выпуск по материалам Международной конференции "Наноуглерод и Алмаз" (НиА'2024)
Физическое материаловедение

Высокочастотное магнетронное осаждение и морфологические свойства углеродных наностенок

А. Я. Виноградов^a, С. А. Грудинкин^a, М. А. Баранов^b, В. С. Левицкий<sup>c

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b Международный научно-образовательный центр физики наноструктур, Университет ИТМО, 199034 Санкт-Петербург, Россия
^c НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике, 194064 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Углеродные наностенки, представляющие собой трехмерную структуру в виде слоев графена, расположенных перпендикулярно поверхности подложки, получены на подложках из кристаллического кремния методом высокочастотного магнетронного распыления графитовой мишени без добавления в рабочую смесь реактивных газов. Методом электронной микроскопии исследовано влияние технологии процесса осаждения на особенности морфологии углеродных наностенок и их эволюцию со временем роста. Изучение структурных свойств и дефектов углеродных наностенок проводилось методом комбинационного рассеяния света. Показано влияние высокочастотной мощности и давления аргона в реакторе на содержание точечных и линейных структурных дефектов в углеродных наностенках.

Ключевые слова: ионно-плазменное осаждение, углеродные наноструктуры, сканирующая электронная микроскопия, комбинационное рассеяние света.

Поступила в редакцию: 03.10.2024
Исправленный вариант: 03.10.2024
Принята в печать: 03.10.2024

DOI: 10.61011/JTF.2025.02.59720.305-24

Реферативные базы данных:

•