Физическая электроника

Нанесение алмазоподобного покрытия импульсно-периодическим CO$_2$ лазером

А. А. Воскобоев, А. Н. Кириченко, В. С. Межевов, С. П. Яцков

Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований, 108840 Троицк, Московская обл., Россия

Аннотация: Представлены результаты экспериментов по исследованию возможности получения алмазоподобных структур на поверхности различных материалов методом лазерного напыления с применением мощного импульсно-периодического CO$_2$ лазера (пиковая мощность импульса около 1.5 MW). Показана возможность нанесения алмазоподобного слоя на поверхности с высокими скоростями напыления.

Ключевые слова: импульсное лазерное напыление (PLD), алмазоподобные покрытия (DLC), спектры плазмы, рамановская спектроскопия, импульсно-периодический CO$_2$ лазер.

Поступила в редакцию: 02.08.2023
Исправленный вариант: 05.09.2023
Принята в печать: 05.09.2023

DOI: 10.61011/JTF.2023.11.56501.196-23

Реферативные базы данных:

•