Физическая электроника

Исследование состава пленок моносульфида самария, полученных электронно-лучевым нагревом

Е. Б. Баскаков, В. И. Стрелов

Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, 119333 Москва, Россия

Аннотация: Методом энергодисперсионной спектроскопии исследован элементный состав тонких пленок, полученных электронно-лучевым нагревом объемных образцов SmS с различным соотношением элементов 1Sm : 1S, 1.05Sm : 1S и 1.15Sm : 1S. На примере объемного образца состава 1.15Sm : 1S проведен анализ его элементного состава до и после распыления на подложку. По данным микроанализа установлено изменение содержания элементов и произведена возможная оценка изменения фазового состава в распыляемом материале. Показано, что в составе полученных тонких пленок содержится избыточное содержание Sm. Предложена методика определения неоднородности состава по глубине для пленок SmS, в рамках которой с использованием двухпотоковой модели транспорта заряженных частиц рассчитана зависимость пробега пучка моноэнергетических электронов от первичной энергии электронов в SmS для энергий до 30 keV.

Ключевые слова: электронно-лучевой нагрев, моносульфид самария, рентгено-спектральный микроанализ, пробег пучка моноэнергетических электронов в веществе.

Поступила в редакцию: 14.07.2023
Исправленный вариант: 26.09.2023
Принята в печать: 26.09.2023

DOI: 10.61011/JTF.2023.11.56500.182-23

Реферативные базы данных:

•