Атомная и молекулярная физика

Комментарий к статье А.И. Толмачева и Л. Форлано “Зависимость коэффициента распыления от угла падения ионов на поверхность мишени” (2022, Т. 92. Вып. 5, С. 660–664)

В. И. Шульга

Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына, 119991 Москва, Россия

Аннотация: Представлен критический анализ подхода, примененного А.И. Толмачевым и Л. Форлано в работе, опубликованной в ЖТФ, 92 (5), 660 (2022), к решению задачи о ионном распылении твердых тел.

Ключевые слова: распыление, угловая зависимость коэффициента распыления, компьютерное моделирование, программа PAOLA, программа SRIM, транспортное уравнение, парные столкновения.

Поступила в редакцию: 10.06.2023
Исправленный вариант: 10.06.2023
Принята в печать: 14.08.2023

DOI: 10.61011/JTF.2023.10.56276.147-23

Реферативные базы данных:

•