XXVII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'' Н. Новгород, 13-16 марта, 2023 г.
Физические приборы и методы эксперимента

Применение просвечивающей электронной микроскопии для исследования функционального наноэлемента

К. Е. Приходько^ab, М. М. Дементьева<sup>a

a</sup> Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", 123182 Москва, Россия
^b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 115409 Москва, Россия

Аннотация: С использованием зондового метода сфокусированного ионного пучка был вырезан образец поперечного среза единичного функционального элемента микронных размеров – элемента индуктивности, изготовленного из сверхпроводящего нанопровода, для проведения ПРЭМ (просвечивающая растровая электронная микроскопия) и ПЭМ (просвечивающая электронная микроскопия) исследований. Применение аналитических методов ПЭМ позволило получить точные данные о геометрических параметрах сечения нанопровода, фазовом и элементном составе сверхпроводящего материала элемента, а также о концентрации свободных электронов на уровне Ферми.

Ключевые слова: просвечивающая растровая электронная микроскопия, просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения, тонкие сверхпроводящие пленки NbN, криогенный элемент индуктивности; спектроскопия энергетических потерь энергии электронов.

Поступила в редакцию: 06.04.2023
Исправленный вариант: 06.04.2023
Принята в печать: 06.04.2023

DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55769.67-23

Реферативные базы данных:

•