Физическая электроника
Дисперсионные элементы зеркального спектрометра на диапазон 7–30 nm

С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, 603087 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Рассчитаны и синтезированы многослойные интерференционные структуры, выступающие в качестве дисперсионных элементов для зеркального спектрометра на диапазон длин волн 7–30 nm. Реализованы три элемента: на диапазон $\lambda$ = 7–12 nm – многослойная структура Mo/B4C (число периодов $N$ = 60; толщина периода $d$ = 6.5 nm); на диапазон $\lambda$ = 11–18 nm – структура Mo/Bе ($N$ = 50; $d$ = 9.83 nm); на диапазон $\lambda$ = 17–30 nm – структура Be/Si/Al ($N$ = 40; $d$ = 18.2 nm). Для всего спектрального диапазона была получена эффективность более 10% при разрешении по длине волны 0.15–1.0 nm.

Ключевые слова: мягкое рентгеновское и экстремальное ультрафиолетовое излучения, многослойные рентгеновские зеркала, лазерная плазма, спектроскопия.

Поступила в редакцию: 28.03.2023
Исправленный вариант: 28.03.2023
Принята в печать: 28.03.2023

DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55760.60-23

Реферативные базы данных:

•