XXVII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'' Н. Новгород, 13-16 марта, 2023 г.
Плазма

Эмиссионные характеристики лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения с тонкопленочными мишенями

А. Я. Лопатин^a, В. И. Лучин^a, А. Н. Нечай^a, А. А. Перекалов^a, А. Е. Пестов^a, Н. Н. Салащенко^a, А. А. Соловьев^b, Н. Н. Цыбин^a, Н. И. Чхало<sup>a

a</sup> Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия
^b Институт прикладной физики РАН, 603950 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Исследованы спектры излучения в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазонах длин волн тонкопленочных (толщиной 0.15 $\mu$m) мишеней из легких материалов (Si, C, Be) при возбуждении импульсом Nd:YAG-лазера с длительностью 5.2 ns, сфокусированным до интенсивности $\sim$10$^{12}$ W/cm$^2$. С помощью спектрометра на основе многослойного рентгеновского зеркала зарегистрированы линейчатые спектры ионов BeIII, BeIV, CV, SiV. Проведено сравнение со спектрами твердотельных мишеней из массива этих же материалов. Во всех случаях отмечалось снижение интенсивности линий мягкого рентгеновского спектра пленочных мишеней по сравнению с монолитными; величина снижения составила в зависимости от материала от нескольких десятков процентов до нескольких раз при более, чем на порядок, меньшей массе испаренного вещества.

Ключевые слова: мягкое рентгеновское и экстремально ультрафиолетовое излучения, тонкие пленки, лазерная плазма.

Поступила в редакцию: 19.04.2023
Исправленный вариант: 19.04.2023
Принята в печать: 19.04.2023

DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55742.97-23

Реферативные базы данных:

•