XXVII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'' Н. Новгород, 13-16 марта, 2023 г.
Теоретическая и математическая физика

Теория аксиальной томографии на основе обратного преобразования Радона для высокоапертурной мягкой рентгеновской микроскопии

К. П. Гайкович, И. В. Малышев, Д. Г. Реунов, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, 603950 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Для мягкой рентгеновской микроскопии в приближении геометрической оптики построена теоретическая модель формирования принимаемого изображения – найдена зависимость между записываемым на детекторе изображением и 3$D$-распределением показателя поглощения образца с использованием высокоапертурного зеркального объектива (NA > 0.3) с глубиной фокуса, близкой к дифракционному ограничению. Получено решение обратной задачи томографии определения этого 3$D$-распределения по данным измерений в высокоапертурном зеркальном микроскопе мягкого рентгеновского излучения.

Ключевые слова: мягкая рентгеновская микроскопия, обратная задача микроскопии, формирование изображения в абсорбционном контрасте.

Поступила в редакцию: 02.05.2023
Исправленный вариант: 02.05.2023
Принята в печать: 02.05.2023

DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55739.106-23

Реферативные базы данных:

•