Твердое тело

Влияние химико-механической обработки кремниевых пластин на морфологию их поверхности и прочность

В. А. Козлов^ab, В. И. Николаев^a, В. В. Шпейзман^a, Р. Б. Тимашов^a, А. О. Поздняков^a, С. И. Степанов<sup>a

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b ЗАО НПО "Фид-Техника", 194223 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Исследована механическая прочность различных кремниевых пластин толщиной 100 $\mu$m в зависимости от способов их получения и режимов их последующей шлифовки или полировки, включая химико-механическую. Нагружение пластин проводили методом “кольцо-в-кольцо”, величину напряжений и прогиба под малым кольцом определяли методом конечных элементов. Для всех исследованных образцов методами стилусной профилометрии и атомно-силовой микроскопии получены профили и параметры шероховатости пластин при сканировании поверхности вдоль базовой линии и по площади. Обнаружена корреляция между величиной прочности пластин и характерными параметрами профиля их поверхности (средними значениями величины и периода колебаний высоты неровностей).

Ключевые слова: кремний, прочность, шероховатость поверхности, химико-механическая обработка.

Поступила в редакцию: 26.12.2022
Исправленный вариант: 05.03.2023
Принята в печать: 07.03.2023

DOI: 10.21883/JTF.2023.05.55459.289-22

Реферативные базы данных:

•