XXVIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 11-15 марта 2024 г.
Физические приборы и методы эксперимента

Количественный локальный анализ элементного состава материалов методом спектроскопии характеристических потерь энергии электронов в рамках просвечивающей растровой электронной микроскопии в условиях наложения линий характеристических потерь

К. Е. Приходько^ab, М. М. Дементьева<sup>a

a</sup> Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", 123182 Москва, Россия
^b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 115409 Москва, Россия

Аннотация: Разработан метод обработки спектров характеристических потерь энергии электронов для проведения количественного анализа атомных концентраций элементов в рамках просвечивающей растровой электронной микроскопии в условиях близкого расположения линий различных элементов. Кроме того, рассмотрен случай наличия особенностей на спектре энергетических потерь, который, в свою очередь, затрудняет выделение фона при проведении стандартного анализа. На примере исследования атомного состава тонкой пленки NbN показано уменьшение разброса получаемых значений концентраций для различных точек образца до нескольких атомных процентов.

Ключевые слова: спектроскопия характеристических потерь энергии электронов (СХПЭЭ), просвечивающая растровая электронная микроскопия, просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения, тонкие сверхпроводящие пленки NbN, вычитание фона в СХПЭЭ, перекрытие линий характеристических потерь.

Поступила в редакцию: 15.04.2024
Исправленный вариант: 15.04.2024
Принята в печать: 15.04.2024

DOI: 10.61011/JTF.2024.08.58559.122-24

Реферативные базы данных:

•