Аннотация:
Обсуждена возможность использования составных преломляющих линз в качестве элементов рентгеновской оптики, предназначенных для формирования изображения на рентгенорезисте в мягком рентгеновском диапазоне длин волн. Для этой цели проведено математическое моделирование преобразования волнового фронта при его прохождении через рассматриваемую оптическую систему. Рассчитано распределение интенсивности волнового фронта рентгеновского излучения с длиной волны от 2 до 14 nm на входе/выходе составной преломляющей линзы и в плоскости подложки с рентгенорезистом. Рассмотрены перспективные материалы (Si, Be, алмаз) составной преломляющей линзы, обладающие высокой прозрачностью в выбранном диапазоне длин волн. Показано, что переход к дифракционным и киноформным линзам минимизирует степень поглощения рентгеновского излучения в выбранном материале линзы на несколько порядков, что позволяет увеличить разрешающую способность вплоть до 14 nm.
Полный текст:
PDF файл (1304 kB)