XXVIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 11-15 марта 2024 г.
Физика низкоразмерных структур

Исследование емкостных и индуктивных элементов с помощью высокодобротных сверхпроводниковых резонаторов

Р. А. Юсупов, Л. В. Филиппенко, М. Ю. Фоминский, В. П. Кошелец

Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, 125009 Москва, Россия

Аннотация: Предложен и реализован метод измерения электрических параметров элементов интегральных схем с помощью высокодобротных сверхпроводниковых резонаторов. Изготовлены структуры, состоящие из копланарной волноводной линии с подключенными к ней емкостным способом резонаторами. Измерены спектры прохождения сверхвысокочастотного сигнала по такой линии. Проведено сравнение численного расчета тестовых структур со спектрами прохождения, измеренными в эксперименте. Определены значения емкостей связи линии передачи с резонаторами и значения нагрузок резонаторов, представляющих собой емкостные и индуктивные элементы. Проведен анализ полученных значений, получена оценка достоверности используемой методики.

Ключевые слова: сверхпроводниковые интегральные схемы, копланарная волноводная линия, сверхпроводниковый копланарный резонатор, сверхпроводящий квантовый интерферометр, сверхвысокочастотные измерения, спектр прохождения сигнала, векторный анализатор цепей, криогенные измерения.

Поступила в редакцию: 16.05.2024
Исправленный вариант: 16.05.2024
Принята в печать: 16.05.2024

DOI: 10.61011/JTF.2024.07.58345.175-24

Реферативные базы данных:

•