XXVIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 11-15 марта 2024 г.
Теоретическая и математическая физика

Рентгеновская дифракция в тонком кристалле с неоднородным изгибом отражающих атомных плоскостей

В. И. Пунегов

Физико-математический институт Федерального исследовательского центра "Коми научный центр УрО РАН", 167982 Сыктывкар, Россия

Аннотация: Теоретически рассмотрена кинематическая рентгеновская дифракция в тонком изогнутом кристалле с изменяющимся по его глубине радиусом изгиба. Разработан алгоритм расчетов интенсивности рассеяния вблизи узла обратной решетки от такой структуры на основе рекуррентных соотношений. Выполнено численное моделирование рентгеновской дифракции в кристалле кремния в рамках четырех моделей микроструктур. Показано, что карты распределения дифракционной интенсивности в обратном пространстве существенно зависят от закона изменения радиуса изгиба в кристалле.

Ключевые слова: кинематическая рентгеновская дифракция, карты распределения дифракционной интенсивности в обратном пространстве, моделирование дифракции в изогнутом кристалле.

Поступила в редакцию: 02.04.2024
Исправленный вариант: 02.04.2024
Принята в печать: 02.04.2024

DOI: 10.61011/JTF.2024.07.58331.106-24

Реферативные базы данных:

•