Квантовая электроника

Концентрирующие голографические дифракционные решетки II. Экспериментальные результаты

Б. В. Егоров, С. Ю. Карпов, М. Н. Мизеров, Е. Л. Портной, В. Б. Смирницкий

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград

Аннотация: Описана оригинальная технология изготовления концентрирующих дифракционных решеток на поверхности полупроводникового кристалла, основанная на селективном травлении полупроводника. Проведено экспериментальное исследование решеток пилообразного профиля, изготовленных этим методом. Экспериментальные результаты сравниваются с теоретическими, полученными в приближении плоских волн.

УДК: 535.317.1

Поступила в редакцию: 10.11.1983
Исправленный вариант: 26.03.1984

Реферативные базы данных:

•