Reduction of boron oxide on polycrystalline Al and Sm substrates

[Восстановление оксида бора на поликристаллических подложках алюминия и самария]

Lev A. Akashev^a, Yulia V. Korkh^b, Nikolai A. Popov^a, Tatiana V. Kuznetsova^b, Alla V. Konyukova^a, V.ladimir G. Shevchenko<sup>a

a</sup> Institute of Solid State Chemistry UB RAS, Ekaterinburg, Russian Federation
^b M. N. Mikheev Institute of Metal Physics of the UB RAS, Ekaterinburg, Russian Federation

Аннотация: В данной работе оптическими методами спектроскопии комбинационного рассеяния (КРС), спектральной эллипсометрии исследован процесс восстановления оксида бора, нанесенного вакуумным термическим испарением на поверхности алюминия и самария. По данным КРС на спектрах данных образцов обнаружены рамановские пики, соответствующие колебаниям $\beta$-ромбоэдрического бора ($\beta$-B). Методом спектральной эллипсометрии определены оптические постоянные и толщина наноразмерной пленки бора в диапазоне спектра от 270 до 1000 нм.

Ключевые слова: эллипсометрия тонких пленок, формула Коши, восстановление оксида бора.

УДК: 544.032, 53.081.7

Получена: 10.07.2025
Исправленный вариант: 24.08.2025
Принята: 27.09.2025

Язык публикации: английский