МЕТОДЫ ФИЗИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ

Цилиндрические микрорезонаторы из кремния и нитрида кремния, изготовленные из оптических волокон методом магнетронного напыления

Н. А. Макарова^a, В. С. Терентьев^b, И. Д. Ватник<sup>ab

a</sup> Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
^b Институт автоматики и электрометрии, 630090 Новосибирск, Россия

Аннотация: Цилиндрический микрорезонатор на основе стандартных кварцевых оптических волокон является перспективной простой платформой для создания нелинейных устройств, но требует высокой мощности накачки для наблюдения нелинейных эффектов. В работе рассматривается возможность магнетронного напыления тонких пленок с более высоким нелинейным показателем преломления из слоев кремния и нитрида кремния, обладающих большим нелинейным показателем преломления. Показано, что добротность в процессе напыления падает до величин $10^5$ для пленок кремния и $10^6$ для пленок нитрида кремния.

Поступила в редакцию: 19.09.2025
Исправленный вариант: 21.10.2025
Принята в печать: 31.10.2025

DOI: 10.7868/S3034576625120093