ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ

Механические свойства пленок оксида хрома в зависимости от технологических факторов

Н. А. Родионова^a, И. Н. Шмидко^a, Е. В. Родионов<sup>b

a</sup> Институт физики полупроводников им.В.Е.Лашкарева Национальной Академии наук Украины
^b Национальный университет пищевых технологий Украины

Аннотация: В данной работе рассматриваются пленки оксидокарбидов хрома, получаемые по достаточно простой технологии из металлорганических соединений пиролизом последних на поверхности упрочняемого материала в присутствии окислителя.
Рассматривается влияние технологических факторов, а именно температуры пиролиза исходного МОС соединения, соотношения металлорганическое соединение–окислитель.

Ключевые слова: оксидокарбид хрома, металлоорганические соединения.