ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ

Оптические характеристики пленок оксида хрома, полученных по МОС технологии

Н. А. Родионова^a, И. Н. Шмидко^a, Е. В. Родионов<sup>b

a</sup> Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева Национальной Академии наук Украины
^b Национальный университет пищевых технологий

Аннотация: В данной работе были проведены спектральные исследования пленок в диапазоне 30–1000 нм. Спектральные зависимости поглощения и отражения проводились на пленках толщиной от 00 до 1000 Å. Проведены оптические исследования полученных пленок хрома после воздействия на них термических, механических воздействий, а также после воздействий агрессивных сред. Измеренные спектральные характеристики позволили связать их с изменением и наличием в пленках различных карбидных и оксидных фаз, влияющих на оптические свойства пленок.

Ключевые слова: пленки оксида хрома, оптические свойства, металлоорганические соединения.